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Alicat MCD雙閥雙向氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器可以控制質(zhì)量流量,體積流量,或氣體壓力。雙向同時(shí)測(cè)量流量,壓力,溫度。

使用Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質(zhì)量流量控制器配備氣動(dòng)截止閥，可用于控制真空應(yīng)用中 128 多種氣體（包括 30 多種腐蝕物）的質(zhì)量流量或壓力。

Alicat MCES防腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，可輕松直接升級(jí)到真空沉積裝置，控制 98 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力。可以控制腐蝕性氣體。

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以同時(shí)控制質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力方向，同時(shí)測(cè)量多達(dá) 130 種氣體的流量、氣體壓力和氣體溫度，包括 30 多種腐蝕物。

Alicat MCDW低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以在可用系統(tǒng)壓力非常小時(shí)（壓降低至 0.07 PSID）時(shí)控制兩個(gè)方向的質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力。

Alicat艾里卡特科里奧利質(zhì)量流量泵控制器很容易與現(xiàn)有的液體或氣體泵過程集成，無需單獨(dú)的PID控制器即可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該控制器還可以配置為命令閥門與加壓氣體一起使用。 該精密控制器讀取質(zhì)量流量在40毫秒，并發(fā)送數(shù)字信號(hào)，以控制泵在140毫秒。控制器兼容高達(dá)200 cP的氣體和液體，流速高達(dá)300 kg/h。

使用Alicat艾里卡特CODA KC系列質(zhì)量流量控制器在非常困難的操作條件下進(jìn)行高精度控制。 CODA 控制器與各種液體和氣體（包括許多腐蝕性物質(zhì)）兼容，并在高達(dá) 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。

Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，可輕松直接升級(jí)到真空沉積裝置。控制 98 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力。