MKS金屬密封式質量流量計（GM50A）

GM50A和GM51A是通用型金屬密封式質量流量計（MFM），適用于需要從5標準立方厘米每分鐘（sccm）到50標準升每分鐘（slm）全量程的廣泛應用場合，等效于氮氣（N2）。這些儀表采用了數字流量計電子技術和經過驗證的、熱傳感器及機械設計。

GM50A 寬 1.45 英寸。

GM51A 寬 1.25 英寸。

l嵌入式用戶界面可輕松更改范圍和氣體，減少所需庫存

l就地監控和收集設備數據

l16微英寸316L表面處理，適用于高純度應用

l廣泛的數字或模擬I/O選擇

多氣體/多量程能力

多氣體/多量程功能，以及對準確度的嚴格性能規范，使用戶能夠最小化高流量MFM部件編號的庫存。多氣體/多量程功能（以及其他自定義控制）是通過MFM嵌入式診斷接口訪問的，該接口不需要特殊的軟件或硬件即可操作。標準以太網電纜和廣泛可用的JAVA啟用HTML瀏覽器就是所需的所有工具。典型高流量氣體的氣體關鍵參數已經存儲在設備上。配置設備只是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷接口還允許用戶執行常規設備健康檢查，繪制流量圖，并存儲操作數據以進行離線分析。

MKS金屬密封式質量流量計（GM50A）

技術參數

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。