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產(chǎn)品簡介
INFICON英福康氣體分析儀（HP100）基于自等離子體光發(fā)射光譜技術(shù)（SPOES），旨在提供半導(dǎo)體制造過程中的實時泄漏檢測、端點檢測和過程監(jiān)控。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
INFICON英?？禋怏w分析儀（HP100）
基于自等離子體光發(fā)射光譜技術(shù)（SPOES），旨在提供半導(dǎo)體制造過程中的實時泄漏檢測、端點檢測和過程監(jiān)控。Quantus HP100具有出色的靈敏度，外形緊湊，提供寬廣的操作壓力范圍，無需昂貴的泵，因此非常適合大多數(shù)半導(dǎo)體工具的過程監(jiān)控和保護(hù)。
特點
l 氬氣的操作范圍為1 Torr - 450 Torr，氮氣的操作范圍為1 Torr - 120 Torr（其他氣體種類則有所不同）
l 低檢測限<1 ppm
l 使用標(biāo)準(zhǔn)KF25連接，安裝方便
l 快速采樣（最大20赫茲）
l 占地面積?。ǜ?/span>x寬x長）：6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm］
l 低維護(hù)，不需要泵或消耗品
l 方便的現(xiàn)場可更換的等離子池
l 為您的特殊工藝需求提供全球?qū)＜抑С?/span>
INFICON英?？禋怏w分析儀（HP100）
技術(shù)規(guī)格
操作壓力 | 1 Torr - 450 Torr (取決于應(yīng)用) |
光譜儀性能 | 200至850納米波長（紫外-可見光） 16位全尺度分辨率，3648像素 |
檢測極限 | < 1 ppm (取決于應(yīng)用) |
曝光時間 | 最少1毫秒 |
真空配件 | KF25 |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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