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產品中心INFICON英福康Transpector® APX ALDINFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀
產品簡介
INFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）是用于半導體和顯示器制造過程監控市場優秀的殘余氣體分析儀 (RGA)。
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產品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
INFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）
實時減少廢品，提高產量
INFICON Transpector APX是用于半導體和顯示器制造過程監控市場優秀的殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 深知半導體和顯示器客戶有著獨特的需求，Transpector APX 的新的修訂版在保持行業優秀的測量速度和靈敏度的同時，提供了更大的靈活性以滿足特定的應用要求。Transpector APX是用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導體工藝的理想 RGA 過程監控器。
下一代 Transpector APX ALD 單壓入口系統設計用于在 ALD 或 PECVD 等容易產生顆粒或涂層的制程化學中生存。這允許在所有關鍵工藝步驟中進行連續監測，以捕獲數據點。此外，入口溫度可控，可抵御腐蝕性氣體，這對于腔室清潔終點監測應用至關重要。
優勢
l 針對特定應用的平臺設計，為您的ALD或CVD工藝提供最長的使用壽命，實現很好的晶圓和面板保護以及工藝優化
l ALD準備就緒，測量速度超過每秒550個數據點
l 由于采用高性能泵系統，工廠占地面積減少 30%，安裝更加簡便
l 溫控入口采用 INFICON 涂層，用于離散壓力入口，可承受苛刻的腐蝕性化學物質
l 自動校準確保傳感器與傳感器、工具與工具腔室匹配的長期數據可靠性和準確性
l Transpector APX 與 FabGuard® 軟件集成后成為*的過程監控和診斷工具，并由 INFICON 應用專家提供支持
INFICON英福康單壓力殘余氣體分析儀（Transpector® APX ALD）
技術參數
型號 | 100AMU | 200AMU | 300AMU |
總壓力范圍 | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
檢測限 | <10 ppb | <25 ppb | <50 ppb |
工藝壓力范圍 | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
靈敏度（低排放） | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
靈敏度（高排放） | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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