INFICON英福康電容膜片真空計（CDG025D-X3）

抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有很好的零點穩(wěn)定性和預計數(shù)百萬次壓強周期(包括大氣沖擊)的長使用壽命。特別的傳感器屏蔽保護真空計免受過程污染。堅固耐用的機械設計和數(shù)字電子設備改善了EMC兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補償。CDG025D為電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后的快速恢復等特性設定了新標準。

在對精度和可靠性要求很高的應用中，INFICON SKY 推出了 CDG025D-X3 電容式隔膜真空計，這是一款用于壓力測量和控制的頂級產(chǎn)品。這款壓力表將數(shù)十年的經(jīng)驗與先進的技術相結合，在業(yè)內(nèi)樹立了很高的標準。

高精度溫度補償： CDG025D-X3 采用先進的溫度補償技術。這確保了儀器即使在惡劣條件下也能提供可靠、準確的測量。

耐腐蝕陶瓷傳感器具有出色的零點穩(wěn)定性，使用壽命長達數(shù)百萬次壓力循環(huán)，包括大氣爆破。

先進的數(shù)字電子元件： 這款壓力表的電子元件不僅是先進的，而且還提供了一系列令人印象深刻的功能。一鍵歸零和設定點調(diào)整功能提高了使用的便捷性。

INFICON英福康電容膜片真空計（CDG025D-X3）

最新 SKY® 技術

長壽命陶瓷傳感器： 耐腐蝕的超陶瓷傳感器使壓力表具有出色的長期信號穩(wěn)定性和數(shù)百萬次壓力循環(huán)的預期壽命，即使在大氣壓力下降時也是如此。

此外，傳感器防護罩可保護壓力表免受工藝污染。這一點在半導體生產(chǎn)設備等典型應用中尤為重要，特別是在蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 等工藝中。CDG025D-X3 也非常適合數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設備、工業(yè)真空工藝設備以及需要高精度的一般壓力測量。

特質(zhì)和優(yōu)勢

在當今的工業(yè)環(huán)境中，電磁干擾可能是一個嚴重的問題，CDG025D-X3 在設計時充分考慮了電磁兼容性。此外，CDG025D-X3 還具有出色的長期穩(wěn)定性和溫度補償功能，可確保多年的可靠性能。

此外，CDG025D-X3 還具有開機后快速穩(wěn)定和暴露于大氣壓力后同樣快速恢復的特性，是要求苛刻的工業(yè)應用中必需的儀器。它不僅僅是一個真空計，更是真空測量技術領域質(zhì)量和創(chuàng)新的象征。

優(yōu)勢

l全量程范圍為 100 mTorr ... 1000 Torr

l通電后快速穩(wěn)定

l從大氣壓快速恢復

l耐腐蝕陶瓷傳感器

l出色的長期信號穩(wěn)定性

l溫度補償

l傳感器雙重保護，防止污染

l一鍵歸零功能

l寬范圍電源

l2 個設定點

lRS232 接口

l符合無塵室標準

典型應用

l用于蝕刻、CVD、PVD、ALD 的半導體制造設備

l數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設備

l工業(yè)真空設備

l一般高精度壓力測量

杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進度。