PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）

V72全加熱傳輸閥適用于蝕刻或化學氣相沉積等腐蝕性工藝，采用單軸氣動執行器實現閘板的L型運動技術，加熱功能可使閘板或閥體上的化學物質氣化。在L型運動中，閘板垂直移動至關閉位置——與閥體無任何接觸——在最后階段，閘板水平推向閘座，密封件以與連接氣壓相關的固定力接觸閘座。這不僅避免了任何摩擦以及由此可能產生的顆粒，還最大限度地減少了密封件的磨損。

為了最大限度地減少顆粒的產生和活化，閘板配備了嵌入式O型圈密封，也可選擇硫化密封。這是一種比標準O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，不過也可選擇標準O型圈密封。軸貫穿處采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

在停電情況下，V72可機械鎖定在關閉位置。

V72系列已經在各種半導體、太陽能和工業生產工藝中的數百個苛刻應用中安裝使用，證明了其優秀的可靠性。憑借堅固的設計以及維護量少且易于維護的特點，V72系列在各方面都令人信服。

V72全加熱傳輸閥總是根據客戶的具體要求進行定制。盡管如此，仍預定義了四種基本設計類型：兩種具有不同后側開口的閥門類型，以及兩種帶有內部腔室閥座或外部腔室閥座的嵌件類型。

閥體材料可選擇鋁、硬質陽極氧化處理鋁、鍍鎳鋁或不銹鋼。閘板和閥蓋密封件采用氟橡膠（FKM）或全氟橡膠（FFKM）材質。其他密封材料可根據要求提供。

特點：

l半標準應用（符合半導體制程標準半E21- 94、半E24-92、半E21.1-1296）

l低振動。獲得認證的L型運動連桿以及執行器中無彈簧的雙位移設計，可使氣動執行器的驅動速度更快、更平穩 ·

l在關閉位置可進行機械鎖定

優勢：

l焊接波紋管式執行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設計有固定裝置，可防止在拆卸時螺栓掉落

應用：

l半導體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統

PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）

技術參數