Leybold萊寶電容薄膜真空計(jì)（CTR100）

工作原理

l電容測(cè)量原理：該真空計(jì)基于薄膜與固定電極之間的電容變化進(jìn)行壓力測(cè)量。當(dāng)壓力改變時(shí)，薄金屬膜會(huì)相對(duì)于電極位置發(fā)生變化，從而導(dǎo)致電容改變，且電容變化與壓力變化成正比。

l氣體類型無(wú)關(guān)性：由于薄膜位置的變化只與壓力有關(guān)，與氣體類型無(wú)關(guān)，因此無(wú)論測(cè)量何種氣體，變送器都能提供相同的輸出信號(hào)，無(wú)需進(jìn)行氣體校正。

性能特點(diǎn)

l高精度與高重復(fù)性：具有出色的精度，在不同測(cè)量范圍有不同的精度表現(xiàn)，如范圍≥1 托時(shí)，精確度為讀數(shù)的 0.20%；0.1 托范圍時(shí)，精確度為讀數(shù)的 0.50%。同時(shí)，測(cè)量重復(fù)性好，能為真空測(cè)量提供可靠的數(shù)據(jù)。

l良好的溫度補(bǔ)償：無(wú)論環(huán)境條件如何變化，都能實(shí)現(xiàn)非常好的溫度補(bǔ)償，確保測(cè)量結(jié)果不受溫度波動(dòng)的影響。

l高耐腐蝕性：采用純焊接 Inconel® 和 Incoloy® 鎳合金材料，傳感器高度耐腐蝕性，能抵御常見工藝化學(xué)品、氧化、滲碳、點(diǎn)蝕、縫隙腐蝕、腐蝕開裂和高溫等的侵害，適用于各種腐蝕性環(huán)境。

l快速準(zhǔn)確響應(yīng)：對(duì)壓力變化響應(yīng)迅速，在全量程范圍≥1 托時(shí)，從全量程的 0% 至 90%，響應(yīng)時(shí)間僅為 40 毫秒；對(duì)于 0.1 托，從全量程的 0% 至 90%，響應(yīng)時(shí)間為 80 毫秒，能夠及時(shí)準(zhǔn)確地反映真空系統(tǒng)中的壓力變化。

l高過(guò)壓承受能力：具有較高的過(guò)壓額定值，能夠承受壓力突變而不會(huì)遭受物理?yè)p壞或校準(zhǔn)偏移，提高了設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性。

l多種通信接口：配備 RS232 數(shù)字通信接口，可用于設(shè)定變送器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量；同時(shí)還具有 0-10 伏直流模擬輸出信號(hào)，可連接至外部模擬設(shè)備進(jìn)行壓力讀數(shù)或壓力控制。

Leybold萊寶電容薄膜真空計(jì)（CTR100）

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

l半導(dǎo)體行業(yè)：用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的薄膜沉積、蝕刻、離子注入等工藝的真空測(cè)量和控制，確保工藝的穩(wěn)定性和一致性。

l化學(xué)工業(yè)：適用于化學(xué)氣相沉積（CVD）、真空蒸餾、真空干燥等工藝，以及腐蝕性氣體環(huán)境下的真空測(cè)量與控制。

l材料處理：如真空爐、陶瓷燒結(jié)、物理氣相沉積（PVD）等過(guò)程中的真空度監(jiān)測(cè)和控制，有助于提高材料的質(zhì)量和性能。

l分析儀器：可與電子顯微鏡、熱分析儀、質(zhì)譜儀等分析儀器配合使用，為儀器提供準(zhǔn)確的真空環(huán)境測(cè)量。

l其他領(lǐng)域：還可應(yīng)用于 LED 和太陽(yáng)能電池制造、真空鍍膜、真空包裝等領(lǐng)域的真空測(cè)量和控制。