EBARA EV-SA系列真空干泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EBARA EV-SA系列真空干泵是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計(jì)，最大排氣速度達(dá)到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點(diǎn)，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實(shí)驗(yàn)室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。

產(chǎn)品型號(hào)：EV-SA20,EV-SA30

更新時(shí)間：2025-08-22

廠商性質(zhì)：代理商

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EBARA荏原

EBARA荏原真空泵

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品牌	EBARA/荏原	功率	3kW
輸送介質(zhì)	其他	泵軸位置	臥式
極限壓力	3pa	葉輪數(shù)目	單級(jí)
抽氣速率	28-80l/s	重量	65-90kg
排出口徑	100mm	流量	100-300m3/h
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥

EBARA EV-SA系列真空干泵

是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計(jì)，最大排氣速度達(dá)到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點(diǎn)，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實(shí)驗(yàn)室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。

技術(shù)特點(diǎn)：

l 小型、輕量、占地面積小

l 風(fēng)冷

l 節(jié)能

l 低噪音

l 雙螺桿結(jié)構(gòu)

l 無需維護(hù)

l 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)： CE、SEMI-S2/NRTL

典型應(yīng)用：

l 科研實(shí)驗(yàn)室

l PVD真空鍍膜

l 質(zhì)譜儀

l 等離子清洗

l 半導(dǎo)體、光伏制程

技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備名稱			單位		EV-SA20		EV-SA30	EV-SA50
排氣速度			L/min		1,670		3,300	5,000
極限壓力			Pa		3.0/ 5.0*		2.0/ 3.0*	0.5/1.0*
連接口徑	吸氣口				NW40		NW40	NW50
	排氣口			NW40		NW40		NW40
極限壓力時(shí)功率概值			kW		0.45		0.45	0.5
冷卻方式					空冷		空冷	空冷
電源	額定電壓 50/60Hz				單相 200-240V 三相 200-240V		單相 200-240V 三相 200-240V	單相 200-240V 三相 200-240V
	電壓允許波動(dòng)范圍			±10%		±10%		±10%
	電源容量	kVA		3.0		3.0		3.0
質(zhì)量概值			kg		65		90	150
*為氣鎮(zhèn)打開時(shí)數(shù)值